古老的納米顆粒固相制作方法是球磨，但是球磨所能達到的細度是非常有限的，納米砂磨機的誕生延續(xù)并升級了經(jīng)典球磨的研磨方法，挑戰(zhàn)了研磨的極限(1-50nm)，使超細納米級的研磨成為可能。
固相制備大致分為化學法和機械法。用化學法制備過程中必定有化學反應(yīng)伴生，并重新構(gòu)成新的物質(zhì)形成粉體，較重要的方法有熱分解法。1．熱分解法 熱分解的物料為固相，分解后目標產(chǎn)物為固相，其余為氣相，進行這類制備的原料主要有以草酸鹽為主的有機酸鹽，其分解溫度低，產(chǎn)生的氣體多數(shù)為CO2和水蒸氣。草酸與多種金屬可形成草酸鹽，而且這些有機酸鹽易于提純獲得。2．機械法 磨碎法屬于機械法之一，但用磨碎法制備納米級的顆粒，則與一般磨碎又有區(qū)別。 由于磨碎的細度大大增加，機械力化學的現(xiàn)象較突出。因此，磨碎所得的顆粒與原物質(zhì)結(jié)構(gòu)不一樣，不會是純物質(zhì)，經(jīng)常是納米金屬間化合物。 納米顆粒制備 常用的方法是納米砂磨機，它是大量制備納米晶粉末的較經(jīng)濟的方法，不少科學研究表明，純金屬、端際固溶體和金屬間化合物可以通過納米砂磨機制成納米顆粒，顆粒尺寸決定于球磨條件和材料成分。由于所制備的產(chǎn)品粒度很細，故研磨介質(zhì)的直徑也很小，如采用1mm的介質(zhì)磨球，可產(chǎn)生l-2um的超細顆粒，用回轉(zhuǎn)磨則可制備粒度為0.2-1um的Al2O3超微顆粒。又如Ti-10％Cu(原子比)經(jīng)納米砂磨機合金化后形成6-8nm的顆粒，由于Cu在晶界的偏析，阻礙了顆粒成長，使得該納米晶粒非常穩(wěn)定。除球磨機跟納米砂磨機外，還有其他磨沖機也可用于超細顆粒的制備，如膠體磨、氣流磨等。
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